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権藤 靖夫/責任編集 -- 共立出版 -- 1992.9 -- 549

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫(3F) /420.8/J51/(8) 05232103 一般 帯出可 配架中 iLisvirtual

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タイトル 薄膜
叢書名 実験物理学講座
責任表示 権藤 靖夫 /責任編集  
出版者 共立出版
出版年 1992.9
ページ数 418p
大きさ 22cm
一般件名 薄膜
NDC分類(9版) 549
内容紹介 現在の急速なエレクトロニクスの進歩を支えている薄膜製作技術と薄膜の各種物性について、薄膜製作条件と関連させ、体系的にまとめると共に各項目ごとに解説を加える。
ISBN 4-320-03063-X
本体価格 ¥13000