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超高真空 在庫

清水 肇／[ほか]編著 -- オーム社 -- 1997.11 -- 534.93

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫（ＢＦ） /534.93/ﾅ7Y/ 06430169 一般 帯出可 配架中 iLisvirtual

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タイトル 超高真空
叢書名 テクノライフ選書
責任表示 清水 肇 ／[ほか]編著  
出版者 オーム社
出版年 1997.11
ページ数 141p
大きさ 19cm
一般件名 真空技術
NDC分類(9版) 534.93
内容紹介 加速器、核融合といったビッグサイエンスから電子デバイスの開発、表面科学などたくさんの研究開発を支える基盤技術-超高真空。エレクトロニクス分野で不可欠となった超高真空の技術と新発見を解き明かす。
ISBN 4-274-02360-5
本体価格 ¥1400

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