資料詳細

集積回路<IC・LSI・VLSI>の製造・加工工程における超微細加工・各種プロセス技術の問題点と実用化在庫

ソフト技研出版部／企画・編集 -- ソフト技研出版部 -- 1981.7 -- 549.7

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
書庫（ＢＦ）	/S-01392//	09204371	一般	帯出可	配架中

タイトル	集積回路<IC・LSI・VLSI>の製造・加工工程における超微細加工・各種プロセス技術の問題点と実用化
副書名	総合技術資料集
責任表示	ソフト技研出版部／企画・編集
出版者	ソフト技研出版部
出版年	1981.7
ページ数	382p
大きさ	31cm
一般件名	集積回路
NDC分類(9版)	549.7
備考	背の書名:超微細加工・プロセス技術総合資料集
本体価格	頒価不明