資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

半導体製造装置用語辞典 在庫

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2000.11 -- 549.8

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫（４Ｆ） /549.8R/ﾆ0Y/ 08695645 一般 帯出可 配架中 iLisvirtual

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル 半導体製造装置用語辞典
責任表示 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2000.11
ページ数 588p
大きさ 22cm
一般件名 半導体-辞典
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 半導体産業の発展は日本の産業基盤強化に大きく寄与し、経済への波及効果も非情に大きい。急速な技術進展を背景に、21世紀の新技術に適用できる用語辞典をめざす。97年刊に次ぐ改訂第5版。
ISBN 4-526-04666-3
版表示 第5版
本体価格 ¥4700

ページの先頭へ