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真空ハンドブック 在庫

アルバック／編 -- オーム社 -- 2002.7 -- 534.93

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫（ＢＦ） /534.93R/ﾆ27/ 09022773 一般 帯出可 配架中 iLisvirtual

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タイトル 真空ハンドブック
責任表示 アルバック ／編  
出版者 オーム社
出版年 2002.7
ページ数 331p
大きさ 27cm
一般件名 真空技術-便覧
NDC分類(9版) 534.93
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
ISBN 4-274-08727-1
備考 付:表(4枚)
版表示 新版
本体価格 ¥9500

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