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トコトンやさしい超微細加工の本 在庫

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.1 -- 549

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫（４Ｆ） /549/ﾆ41/ 09944596 一般 帯出可 配架中 iLisvirtual

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タイトル トコトンやさしい超微細加工の本
叢書名 B&Tブックス
責任表示 麻蒔 立男 ／著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
一般件名 電子工学 , ナノテクノロジー
NDC分類(9版) 549
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
ISBN 4-526-05226-4
本体価格 ¥1400

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