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進化するマイクロマシン 在庫

マイクロマシンセンター／監修 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.11 -- 530

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫（ＢＦ） /530/ﾆ4Y/ 10034007 一般 帯出可 配架中 iLisvirtual

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タイトル 進化するマイクロマシン
副書名 産業化のロードマップとナノとの融合
責任表示 マイクロマシンセンター ／監修, μM産業化研究会 ／編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.11
ページ数 295p
大きさ 21cm
一般件名 マイクロマシン
NDC分類(9版) 530
内容紹介 マイクロマシン産業化のこれまでの展開や、MEMS・デバイス技術などマイクロマシン技術の現状と展望、ナノテクノロジーとの融合、応用分野の将来展望などから、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説。
ISBN 4-526-05227-2
本体価格 ¥2800

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