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MEMSのはなし 在庫

前田 龍太郎／編著 -- 日刊工業新聞社 -- 2005.1 -- 530

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫（ＢＦ） /530/ﾆ51/ 10050276 一般 帯出可 配架中 iLisvirtual

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タイトル MEMSのはなし
叢書名 Science and technology
責任表示 前田 龍太郎 ／編著, 池原 毅 ／著, 小林 健 ／著, 単 学伝 ／著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2005.1
ページ数 6,126p
大きさ 19cm
一般件名 マイクロマシン
NDC分類(9版) 530
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「MEMS(微小電気機械システム)」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
ISBN 4-526-05404-6
本体価格 ¥1400

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