資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

薄膜作成の基礎 在庫

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2005.7 -- 549.8

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫（ＢＦ） /549.8/ﾆ57/ 10245090 一般 帯出可 配架中 iLisvirtual

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル 薄膜作成の基礎
責任表示 麻蒔 立男 ／著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2005.7
ページ数 13,352p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜 , 真空技術
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 前半では薄膜を作るために必要な真空技術を理解し、後半で薄膜を作るための技術を多数紹介する。96年刊に次ぐ第4版。
ISBN 4-526-05503-4
版表示 第4版
本体価格 ¥3800

ページの先頭へ