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絵とき薄膜基礎のきそ 在庫

小林 春洋／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2006.12 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
書庫（ＢＦ） /549.8/ﾆ6Z/ 12708517 一般 帯出可 配架中 iLisvirtual

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タイトル 絵とき薄膜基礎のきそ
叢書名 Electronics Series
責任表示 小林 春洋 ／著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2006.12
ページ数 9,168p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 薄膜の基礎や薄膜を作る方法を紹介し、薄膜の成長過程がその特性に大きな影響を与えること、及び基本特性の評価について概説。良品質の薄膜を得るための条件を挙げ、垂直磁気記録と超LSIに関して薄膜技術との関係を述べる。
ISBN 4-526-05791-6
本体価格 ¥2100

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