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真空科学ハンドブック 在庫

日本真空学会／編 -- コロナ社 -- 2018.3 -- 534.93

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
１階中央図書 /534.93/ﾇ83/ 17025404 一般 帯出可 配架中 iLisvirtual

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タイトル 真空科学ハンドブック
責任表示 日本真空学会 ／編  
出版者 コロナ社
出版年 2018.3
ページ数 8,578p
大きさ 27cm
一般件名 真空技術
NDC分類(9版) 534.93
内容紹介 真空の科学的基礎を解説。また、成膜、プラズマプロセスなどの応用分野で真空環境の役割を説き、極高真空などのこれまでにない真空環境が要求される研究・応用への取組みなどを紹介する。
ISBN 4-339-00908-8
ISBN13桁 978-4-339-00908-8 国立国会図書(別タブで開きます) カーリル(別タブで開きます) WebcatPlus(別タブで開きます) CiNiiBooks(別タブで開きます) アマゾン(別タブで開きます) ブクログ(別タブで開きます)
本体価格 ¥20000

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