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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 貸出中

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2019.12 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
１階中央図書 /549.8/ﾇ9Z/ 13605373 一般 帯出可 貸出中 iLisvirtual

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タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
副書名 ファブから検査まで製造装置を俯瞰する,製造技術の神髄
叢書名 図解入門
責任表示 佐藤 淳一 ／著  
出版者 秀和システム
出版年 2019.12
ページ数 261p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(10版) 549.8
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ISBN 4-7980-6037-8
ISBN13桁 978-4-7980-6037-8 国立国会図書(別タブで開きます) カーリル(別タブで開きます) WebcatPlus(別タブで開きます) CiNiiBooks(別タブで開きます) アマゾン(別タブで開きます) ブクログ(別タブで開きます)
版表示 第3版
本体価格 ¥2000

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