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半導体デバイスにおける界面制御技術 在庫

大貫 仁／共著 -- 内田老鶴圃 -- 2021.4 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
１階中央図書 /549.8/ﾈ14/ 17434903 一般 帯出可 配架中 iLisvirtual

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タイトル 半導体デバイスにおける界面制御技術
副書名 固体界面物性と計算機実験の基礎と応用
責任表示 大貫 仁 ／共著, 篠嶋 妥 ／共著, 永野 隆敏 ／共著, 稲見 隆 ／共著  
出版者 内田老鶴圃
出版年 2021.4
ページ数 8,244p
大きさ 21cm
一般件名 半導体 , 界面化学
NDC分類(10版) 549.8
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 半導体デバイスの今後の発展に重要となる界面創製技術の手引書。半導体デバイスの製造プロセス、半導体デバイスにおける材料界面の組織学、界面組織評価技術など、界面創製技術の基礎と応用を解説する。
ISBN 4-7536-5050-7
ISBN13桁 978-4-7536-5050-7 国立国会図書(別タブで開きます) カーリル(別タブで開きます) WebcatPlus(別タブで開きます) CiNiiBooks(別タブで開きます) アマゾン(別タブで開きます) ブクログ(別タブで開きます)
本体価格 ¥4200

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