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1 件中、 1 件目
半導体製造装置用語辞典
在庫
日本半導体製造装置協会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 1994.11 -- 549.8
SDI
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所蔵
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所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
書庫(4F)
/549.8R/ナ4Y/
05451646
一般
帯出可
配架中
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資料詳細
タイトル
半導体製造装置用語辞典
責任表示
日本半導体製造装置協会
/編
出版者
日刊工業新聞社
出版年
1994.11
ページ数
486p
大きさ
22cm
一般件名
半導体-辞典
NDC分類(9版)
549.8
内容紹介
1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語<ソフトカバー>
ISBN
4-526-03613-7
版表示
第3版
本体価格
¥4563
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