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    小宮山鉄朗
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半導体製造装置用語辞典 禁帯出

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2006.9 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
２階調査相談 /549.8R/ﾆ69/ 12673893 一般 禁帯出 配架中 iLisvirtual

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タイトル 半導体製造装置用語辞典
責任表示 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2006.9
ページ数 10,564p
大きさ 21cm
一般件名 半導体-辞典
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する7つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を215語追加した第6版。
ISBN 4-526-05740-1
版表示 第6版
本体価格 ¥4700

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